Mastercam X5编程曲面步骤如下：首先选择绘制平面，然后确定工件坐标系。

接着创建曲面，通过矢量和截面构建曲面。

将曲面以实体化方式转换成实体，再进行切削处理。

最后进行NC程序生成与模拟验证，导出G代码进行加工。注意确定刀具和加工参数，并进行检查和修正。以上是Mastercam X5编程曲面的一般步骤，具体操作过程中还需要根据不同实际情况进行具体调整。